INFLUENCE OF NATURE OF SI SUBSTRATE ON NICKEL SILICIDE FORMED FROM THIN NI FILMS
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DOI：
10.1016/0040-6090(76)90221-2
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发表时间：
1976-01-01
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
MAYER, JW
中科院分区：
文献类型：
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作者：
OLOWOLAFE, JO;NICOLET, MA;MAYER, JW
