Micromachining and mechanical properties of GaInAs/InP microcantilevers
Micromachining and mechanical properties of GaInAs/InP microcantilevers
复制标题
GaInAs/InP 微悬臂梁的微机械加工和机械性能
DOI：
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发表时间：
1998
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
D. Lippens
中科院分区：
文献类型：
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作者：
P. Mounaix;P. Delobelle;X. Mélique;L. Bornier;D. Lippens
