オンウェハモニタリングによるPECVDプロセスにおけるチャージングダメージの発生メカニズム解明とそのリアルタイム評価
オンウェハモニタリングによるPECVDプロセスにおけるチャージングダメージの発生メカニズム解明とそのリアルタイム評価
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利用晶圆监控阐明PECVD工艺中充电损伤产生机制及其实时评估
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
寒川誠二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
荒木良亮;奥村宏克;陣内佛霖;松永範昭;寒川誠二
