Effect of deep-defects on the energy dissipation of diamond MEMS resonator
Effect of deep-defects on the energy dissipation of diamond MEMS resonator
复制标题
深部缺陷对金刚石MEMS谐振器能量耗散的影响
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Meiyong
中科院分区：
文献类型：
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作者：
サン フアンイン;SANG;Liwen;KOIDE;Yasuo;KOIZUMI;Satoshi;LIAO;Meiyong
