Electrical transport properties of microcrystalline silicon thin films prepared by Cat-CVD-猫眼课题宝

DOI：

10.1016/s0040-6090(01)01218-4

发表时间：

2001-09

期刊：

Thin Solid Films

影响因子：

2.1

通讯作者：

中科院分区：

材料科学3区

文献类型：

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作者：

Fanhan Liu;M. Zhu;Yongchun Feng;Yan-bing Han;Junwen Liu