川崎 仁晴: "Investigation of particulate growth processes in RF silane plasmas using light absorption and scanning electron microscopic method" Jpn.J.Appl.Phys.33. 4198-4201 (1994)
川崎 仁晴: "Investigation of particulate growth processes in RF silane plasmas using light absorption and scanning electron microscopic method" Jpn.J.Appl.Phys.33. 4198-4201 (1994)
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Hitoshiharu Kawasaki：“使用光吸收和扫描电子显微镜方法研究 RF 硅烷等离子体中的颗粒生长过程”Jpn.J.Appl.Phys.33 4198-4201 (1994)。
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