Ion beam sputtering and its applications
Ion beam sputtering and its applications
复制标题
离子束溅射及其应用
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Kawasaki and T. Hattori
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Muto;M. Oyaizu;K. Kawasaki and T. Hattori
