解析解制御MDによる単結晶シリコン押し込み時のリングクラック生成メカニズム解析

解析解制御MDによる単結晶シリコン押し込み時のリングクラック生成メカニズム解析
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利用解析解控制MD分析推单晶硅时环裂纹产生机理

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
2007年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集 (CD-ROM)
影响因子:
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通讯作者:
稲村豊四郎
稲村豊四郎
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
宍倉由記子;武澤伸浩;稲村豊四郎

文献摘要

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