Osamu Takai: "Application of MO Caluclation to Plasma-enhanced CVD Using Organosilicon Compounds" Bull.Mater.Sci.20. 817-822 (1997)

Osamu Takai: "Application of MO Caluclation to Plasma-enhanced CVD Using Organosilicon Compounds" Bull.Mater.Sci.20. 817-822 (1997)
复制标题

Osamu Takai:“MO 计算在使用有机硅化合物的等离子体增强 CVD 中的应用”Bull.Mater.Sci.20。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献