サファイア基板上α-(AlxGa1-x)2O3 薄膜の熱的安定性
サファイア基板上α-(AlxGa1-x)2O3 薄膜の熱的安定性
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蓝宝石衬底上α-(AlxGa1-x)2O3薄膜的热稳定性
DOI:
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发表时间:
2023
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
藤田 静雄
中科院分区:
文献类型:
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作者:
神野 莉衣奈;金子 健太郎;藤田 静雄