R.Nozawa et .al.: "Ion bombardment effects on polycrystalline silicon formation in electron cyclotron resonance SiH_4/H_2 plasma enhanced chemical vapor deposition" Proc.of 3rd Asia-pacific conf.plasma sic.& technol.,. 529-534 (1996)
R.Nozawa et .al.: "Ion bombardment effects on polycrystalline silicon formation in electron cyclotron resonance SiH_4/H_2 plasma enhanced chemical vapor deposition" Proc.of 3rd Asia-pacific conf.plasma sic.& technol.,. 529-534 (1996)
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R.Nozawa 等人：“电子回旋共振 SiH_4/H_2 等离子体增强化学气相沉积中的离子轰击对多晶硅形成的影响”Proc.of 3rd Asia-pacific conf.plasma sic。
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