Synthesis and Properties of Cresol Novolac Resins Using Monosaccharide:
Synthesis and Properties of Cresol Novolac Resins Using Monosaccharide:
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单糖甲酚酚醛清漆树脂的合成及性能：
DOI：
10.11364/networkedpolymer.40.3_121
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山﨑博人，異儀田朋美，古本貴久，黒岩貞昭，高林誠一郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山﨑 博人;安部 春菜;藤井 雄大;山﨑博人;山﨑博人，異儀田朋美，古本貴久，黒岩貞昭，高林誠一郎
ポジ型フォトレジスト材を用いたドライフィルムを作製できるようになれば, 新たなニーズの展開が期待できる. これまで柔軟性の付与を確認できたレジスト用クレゾールノボラック樹脂の代表として, 架橋剤にグルタルアルデヒド (Glu) を用いた m, p-Cre/Glu ノボラック樹脂がある. 本稿では, これを越える柔軟性をもつノボラック樹脂の開発を試み, 架橋剤に単糖のフルクトース (Fru) から誘導される 5-ヒドロキシメチルフルフラール (HMF) を用いた. そして, Fru から HMF へと変換した後に, m-クレゾール (m-Cre) と付加縮合させる二段階反応でノボラック樹脂 (m-Cre/HMF) を合成した. 前段では溶媒 DMSO の使用量の調整で, Fru からの転換率 80~ 100% の HMF を得た. 後段で得られた m-Cre/HMF ノボラック樹脂は, M w: 1200~ 2900, アルカリ水溶解速度 (DR): 1500~ 80 Å/sec の性状で, M w の増加に伴い, DR が遅くなった. そして, M w はそれ程大きくないにも関わらず, DR 値は低くなった. DR≦ 500 Å/sec の条件を満たすノボラック樹脂を選出し, これらをポリイミドフィルム上に膜厚 5 μm に塗布した試料を折り曲げ, 折り曲げ面の樹脂の飛散状態から柔軟性を評価した. それぞれ HMF 変換率 100% と 81% から得た m-Cre/HMF ノボラック樹脂は, m, p-Cre/Glu ノボラック樹脂をやや上回る柔軟性と, 満足の行く描画能 (残膜率: 99%, 描画能: 5.0 μm 以下) を示した.