Modeling and modification of the parallel plate variable MEMS capacitors considering deformation issue
Modeling and modification of the parallel plate variable MEMS capacitors considering deformation issue
复制标题
考虑变形问题的平行板可变 MEMS 电容器的建模和修改
DOI：
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发表时间：
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影响因子：
5.2
通讯作者：
Binzhen Zhang
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Dongming Fang;Binzhen Zhang
