PVD法によって作製したTi-Al-N系硬質膜の高温酸化特性と耐摩耗性
PVD法によって作製したTi-Al-N系硬質膜の高温酸化特性と耐摩耗性
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PVD法制备Ti-Al-N硬质薄膜的高温氧化性能及耐磨性能
DOI：
10.2320/jinstmet1952.57.8_919
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发表时间：
1993
影响因子：
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通讯作者：
廣士 佐藤
中科院分区：
文献类型：
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作者：
孜 池田;廣士 佐藤
