C添加による金属ゲート材料の結晶構造制御とアモルファス化
C添加による金属ゲート材料の結晶構造制御とアモルファス化
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添加C对金属栅材料的晶体结构控制和非晶化
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
知京豊裕
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大毛利健治;細井卓治;渡部平司;山田啓作;知京豊裕
