熱化学反応を用いた選択的かつ高速な結晶異方性ダイヤモンドエッチング
熱化学反応を用いた選択的かつ高速な結晶異方性ダイヤモンドエッチング
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利用热化学反应进行选择性和快速晶体各向异性金刚石蚀刻
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
徳田 規夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
長井 雅嗣，松本 翼，猪熊 孝夫;徳田 規夫
