正弦波周波数変調変位計測干渉計における直接位相検出法の開発

正弦波周波数変調変位計測干渉計における直接位相検出法の開発
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正弦调频位移测量干涉仪直接相位检测方法的研制

DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
樋口雅人・浅野 仁・韋  冬・明田川正人
樋口雅人・浅野 仁・韋  冬・明田川正人
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Le Van Lich;Takahiro Shimada;Shahmohammadi Sepideh;Jie Wang;and Takayuki Kitamura;飯嶋勇樹,溝尻瑞枝,櫻井淳平,秦誠一;樋口雅人・浅野 仁・韋  冬・明田川正人

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