Preferential immobilization of biomolecules on silicon microstructure array by means of electron beam lithography on organosilane self-assembled monolayer resist
Preferential immobilization of biomolecules on silicon microstructure array by means of electron beam lithography on organosilane self-assembled monolayer resist
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电子束光刻在有机硅烷自组装单层抗蚀剂上将生物分子优先固定在硅微结构阵列上
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
I.Ohdomari
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tanii;T.;T.Hosaka;T.Miyake;G.Zhang;T.Zako;T.Funatsu;I.Ohdomari
