S.Miyazaki: "Real Time Monitoring of Surface Reactions during Plasma Enhanced CVD of Silicon" Japanese Journal of Applied Physics. 34(to be published). (1995)
S.Miyazaki: "Real Time Monitoring of Surface Reactions during Plasma Enhanced CVD of Silicon" Japanese Journal of Applied Physics. 34(to be published). (1995)
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S.Miyazaki：“等离子体增强硅 CVD 过程中表面反应的实时监测”日本应用物理学杂志。
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