Iodine Solid Source Inductively Coupled Plasma Etching of InP
Iodine Solid Source Inductively Coupled Plasma Etching of InP
复制标题
InP的碘固体源感应耦合等离子体刻蚀
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Ohtsuki and F. Koyama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Matsutani;H. Ohtsuki and F. Koyama
