エチレンプラズマを用いた炭素膜形成過程の赤外分光計測
エチレンプラズマを用いた炭素膜形成過程の赤外分光計測
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利用乙烯等离子体对碳膜形成过程进行红外光谱测量
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
藤山 寛
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高木雄也;八木翔平;高見佳生;津村高成;篠原正典;松田良信;藤山 寛
