HIGH-ACCURACY PRESSURE MEASUREMENT WITH A SILICON RESONANT SENSOR
HIGH-ACCURACY PRESSURE MEASUREMENT WITH A SILICON RESONANT SENSOR
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DOI：
10.1016/0924-4247(93)80017-b
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发表时间：
1993-06-01
影响因子：
4.6
通讯作者：
WRAY, T
中科院分区：
文献类型：
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作者：
GREENWOOD, J;WRAY, T
本文以一种新型精密气压计为例，介绍了用硅谐振传感器测量压力时的误差来源。
The sources of error when measuring pressure with a silicon resonant sensor are described in the context of a new precision barometer.