Koji Miyata: "CF_X(X=1-3) Radical Measurements in ECR Etching Employing C4F8 Gas by Infrared Diode Laser Absorption Spectroscopy" Jpn.J.Appl.Phys.34(掲載可). (1995)
Koji Miyata: "CF_X(X=1-3) Radical Measurements in ECR Etching Employing C4F8 Gas by Infrared Diode Laser Absorption Spectroscopy" Jpn.J.Appl.Phys.34(掲載可). (1995)
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Koji Miyata：“通过红外二极管激光吸收光谱法使用 C4F8 气体进行 ECR 蚀刻中的 CF_X(X=1-3) 激进测量”Jpn.J.Appl.Phys.34（可出版）。
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