The scanning probe microscope.
The scanning probe microscope.
复制标题
扫描探针显微镜。
DOI：
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发表时间：
1992
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
J. B. Hayes
中科院分区：
文献类型：
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作者：
J. Jahanmir;B. G. Haggar;J. B. Hayes
自1982年问世以来，扫描探针显微镜已经发展成为一种强大的工具。扫描探针显微镜已在计量学、光谱学和光刻术中得到应用。我们将回顾该技术的背景，讨论不同类型的扫描探针显微镜，包括扫描隧道显微镜和扫描力显微镜，并提出了许多仪器的应用。
Scanning probe microscopy has evolved into a powerful tool since its inception in 1982. The scanning probe microscope has found applications in metrology, spectroscopy, and lithography. We will review the background of the technology, discuss the different types of scanning probe microscopes including the scanning tunneling microscope and the scanning force microscope, and present many of the applications for the instrument.