Energy and angular dependence of incident Ar ion in dry-etching of wurtzite-type GaN crystal
Energy and angular dependence of incident Ar ion in dry-etching of wurtzite-type GaN crystal
复制标题
纤锌矿型GaN晶体干法刻蚀中入射Ar离子的能量和角度依赖性
DOI：
--
复制
发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
K. Harafuji and K. Kawamura
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
服藤憲司;河村雄行;K. Harafuji and K. Kawamura;服藤 憲司;服藤 憲司;K. Harafuji and K. Kawamura;K. Harafuji and K. Kawamura
