一种通过沉积错位电绝缘层产生薄膜预应力的方法
一种通过沉积错位电绝缘层产生薄膜预应力的方法
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DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
youdou zheng
中科院分区：
文献类型：
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作者：
lianhong yang;hai lu;rong zhang;youdou zheng
