K.Hane, T.Endo, M.Sasaki: "Si Micromachined Optical Encoder Based on Grating Imaging"Digest of Technical Papers, the 11^<th> International Conference on Solid-State Sensors and Actuators. Vol.1. 552-555 (2001)

K.Hane, T.Endo, M.Sasaki: "Si Micromachined Optical Encoder Based on Grating Imaging"Digest of Technical Papers, the 11^<th> International Conference on Solid-State Sensors and Actuators. Vol.1. 552-555 (2001)
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K.Hane、T.Endo、M.Sasaki:“基于光栅成像的硅微机械光学编码器”技术论文文摘,第 11 届固态传感器和执行器国际会议。

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