立体チャネルトランジスタ応用に向けた選択成長GaNの形状制御

立体チャネルトランジスタ応用に向けた選択成長GaNの形状制御
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用于 3D 通道晶体管应用的选择性生长 GaN 的形状控制

DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
筒井 一生
筒井 一生
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
黒岩 宏紀;濱田 拓也;高橋 言緒;井出 利英;清水 三聡;星井 拓也;角嶋 邦之;若林 整;岩井 洋;筒井 一生

文献摘要

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