イオン液体を用いた温度応答性ゲルレジストのナノデバイス応用
イオン液体を用いた温度応答性ゲルレジストのナノデバイス応用
复制标题
离子液体温度响应凝胶抗蚀剂的纳米器件应用
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
横山義之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kaori Abe;Eriko Obana;Yoshiko Hashimoto;Shouki Yatsushiro;Shohei Yamamura;Yasuo Shinohara;Yoshinobu Baba and Masatoshi Kataoka;木股雅章;横山義之
