結晶化・相変化への応用 熱プラズマジェットによるアモルファスシリコンの結晶化
結晶化・相変化への応用 熱プラズマジェットによるアモルファスシリコンの結晶化
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结晶和相变中的应用热等离子体射流非晶硅结晶
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
東清一郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Furukawa;S. Higashi;T. Okada;H. Kaku;H. Murakami;S. Miyazaki;H. Furukawa;H. Furukawa;東清一郎;松本和也;S. Higashi;松本和也;東清一郎;東清一郎
