Effect of methane/hydrogen mixture gases on plasma-enhanced chemical vapor deposition for carbon nanotube growth

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甲烷/氢气混合气体对等离子体增强化学气相沉积碳纳米管生长的影响

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
et. al.
et. al.
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Atsushi Okita;et. al.

文献摘要

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