板谷 良平: "制御されたプロセス用プラズマとは" 電気学会雑誌. 110. 167-171 (1990)
板谷 良平: "制御されたプロセス用プラズマとは" 電気学会雑誌. 110. 167-171 (1990)
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Ryohei Itaya：“什么是过程控制等离子体？”日本电气工程师学会杂志 110. 167-171 (1990)。
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