Ti基自己形成バリア構造の誘電体層組成依存性
Ti基自己形成バリア構造の誘電体層組成依存性
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钛基自形成势垒结构的介电层成分依赖性
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
村上正紀
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小濱和之;伊藤和博;薗林豊;大森和幸;森健壹;前川和義;白井泰治;村上正紀
