T. Asano and T. Tamon: "Fabrication of Si Tips by Ar Ion Sputtering" Tech. Dig. 4th Int. Vacuum Microelectronics Conf.88-89 (1991)
T. Asano and T. Tamon: "Fabrication of Si Tips by Ar Ion Sputtering" Tech. Dig. 4th Int. Vacuum Microelectronics Conf.88-89 (1991)
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T. Asano 和 T. Tamon：“通过氩离子溅射制造硅尖端”技术。
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