BrF3 dry release technology for large freestanding parylene microstructures and electrostatic actuators
BrF3 dry release technology for large freestanding parylene microstructures and electrostatic actuators
复制标题
用于大型独立式聚对二甲苯微结构和静电执行器的 BrF3 干式脱模技术
DOI：
10.1016/s0924-4247(02)00019-5
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发表时间：
2002
影响因子：
4.6
通讯作者：
Y. Tai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Yao;Xing Yang;Y. Tai
