化学ICの研究(第16報)アクチュエータ駆動マイクロ多方向切換バルブチップの開発
化学ICの研究(第16報)アクチュエータ駆動マイクロ多方向切換バルブチップの開発
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化学IC研究（第16次报告）执行器驱动微型多向阀芯片开发
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
生田幸士
中科院分区：
文献类型：
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作者：
長谷川忠大;中嶋健一郎;生田幸士
