フィルタードアーク蒸着DLC膜の100℃近傍の成膜温度依存性
フィルタードアーク蒸着DLC膜の100℃近傍の成膜温度依存性
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过滤电弧蒸发DLC薄膜在100℃附近成膜温度依赖性
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
藤井裕真，今井貴大，宮本優，針谷達，須田善行，滝川浩史，田上英人，神谷雅男，瀧真，長谷川祐史，辻信広，金子智，安井治之，國次真輔，川口雅弘，三浦健一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Kamiya;Y. Inada;A. Kumada;H. Ikeda;K. Hidaka;藤井裕真，今井貴大，宮本優，針谷達，須田善行，滝川浩史，田上英人，神谷雅男，瀧真，長谷川祐史，辻信広，金子智，安井治之，國次真輔，川口雅弘，三浦健一
