W.Pan,S.T.Chu,S.Sato,T.Maeda,T.Kato and Y.Kokubun: "Planarization of film deposition and improvement of channel structure for fabrication of ARROW-type X-crossing vertical coupler Filter" Jpn.J.Appl.Phys.37. 3713-3717 (1998)
W.Pan,S.T.Chu,S.Sato,T.Maeda,T.Kato and Y.Kokubun: "Planarization of film deposition and improvement of channel structure for fabrication of ARROW-type X-crossing vertical coupler Filter" Jpn.J.Appl.Phys.37. 3713-3717 (1998)
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W.Pan，S.T.Chu，S.Sato，T.Maeda，T.Kato 和 Y.Kokubun：“用于制造 ARROW 型 X 交叉垂直耦合器滤波器的薄膜沉积的平坦化和沟道结构的改进”Jpn.J。
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