Realization of High Sensitivity of Frequency-Chang-Type Single-Crystal Silicon Two-Axis Acceleration Sensor
Realization of High Sensitivity of Frequency-Chang-Type Single-Crystal Silicon Two-Axis Acceleration Sensor
复制标题
变频型单晶硅两轴加速度传感器高灵敏度的实现
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Jumpei Koike
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Sumio Sugawara;Jumpei Koike
