田中公盛: "モンテカルロ法による水素化アモルファスシリコン薄膜の堆積過程のモデリング" 第12回プラズマプロセシング研究会プロシ-ディングス(111B-01). (1). 441-444 (1995)
田中公盛: "モンテカルロ法による水素化アモルファスシリコン薄膜の堆積過程のモデリング" 第12回プラズマプロセシング研究会プロシ-ディングス(111B-01). (1). 441-444 (1995)
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Kimimori Tanaka:“使用蒙特卡罗方法模拟氢化非晶硅薄膜的沉积过程”第 12 届等离子体处理研究组论文集 (111B-01) (1995)。
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