M.Shiratani: "Simultaneous in-situ measurements of properties of particulates in rf silane plasmas using a polarization-sensitive-laser scattering method" Journal of Appllied Physics. 79. 104-109 (1996)
M.Shiratani: "Simultaneous in-situ measurements of properties of particulates in rf silane plasmas using a polarization-sensitive-laser scattering method" Journal of Appllied Physics. 79. 104-109 (1996)
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M.Shiratani：“使用偏振敏感激光散射方法同时原位测量射频硅烷等离子体中颗粒的特性”《应用物理学杂志》。
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