一軸圧下超音波計測による産業用シリコンウェーハの原子空孔軌道の研究
一軸圧下超音波計測による産業用シリコンウェーハの原子空孔軌道の研究
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使用单轴压力超声测量研究工业硅片中的原子空位轨道
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
坂井隼人，三原佳祐，三本啓輔，赤津光洋，根本祐一，後藤輝孝
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Ema;R. Jinno;K. Mukaida and K. Nakayama;坂井隼人，三原佳祐，三本啓輔，赤津光洋，根本祐一，後藤輝孝
