N. Koshida: "Ion resist properties of thin films of transition metal oxides." Nucl. Instrum. Methods B. 39. 736-738 (1989)
N. Koshida: "Ion resist properties of thin films of transition metal oxides." Nucl. Instrum. Methods B. 39. 736-738 (1989)
复制标题
N. Koshida:“过渡金属氧化物薄膜的离子抗蚀性能。”
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: