Synthesis of SiN/SiC multilayered films with crack-healing ability
Synthesis of SiN/SiC multilayered films with crack-healing ability
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具有裂纹修复能力的SiN/SiC多层薄膜的合成
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Uchida
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Nakatani;J. Nishimura;S. Hanaki;H. Uchida
