表面波表征ULSI互连布线双层薄膜

表面波表征ULSI互连布线双层薄膜
复制标题

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
电子学报, 34(5), 774-777, (2006).
影响因子:
--
通讯作者:
阮刚
阮刚
中科院分区:
其他
文献类型:
--
作者:
肖夏;姚素英;阮刚

文献摘要

相似文献