表面波表征ULSI互连布线双层薄膜
表面波表征ULSI互连布线双层薄膜
复制标题
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
阮刚
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
肖夏;姚素英;阮刚