Study on Particle Detection for Patterned Wafers by Evanescent Light Illumination
Study on Particle Detection for Patterned Wafers by Evanescent Light Illumination
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倏逝光照明图案化晶圆颗粒检测研究
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S.Takahashi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T.Yoshioka;T.Miyoshi;Y.Takaya;S.Takahashi
通过倏逝光照明对 100nm 设计规则的图案化晶圆进行颗粒检测：使用时域有限差分 (FDTD) 方法分析倏逝光散射
DOI：
10.1117/12.647933
发表时间：
2005
期刊：
International Symposium on Optomechatronic Technologies
影响因子：
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作者：
T. Yoshioka;T. Miyoshi;Y. Takaya
通讯作者：
Y. Takaya
人力资源展望的启示与开发
DOI：
10.2493/jjspe.69.9
发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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作者：
貞雄 守友
通讯作者：
貞雄 守友