ミスト CVD 法で合成した金属酸化物薄膜への大気圧プラズマによる後処理効果
ミスト CVD 法で合成した金属酸化物薄膜への大気圧プラズマによる後処理効果
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常压等离子体对雾气CVD法合成金属氧化物薄膜的后处理效果
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
平松美根男
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小林滉弥;竹田圭吾;平松美根男
