MEMSのための両面SiC PECVD装置の開発
MEMSのための両面SiC PECVD装置の開発
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MEMS用双面SiC PECVD设备的开发
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
江刺正喜
中科院分区：
文献类型：
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作者：
鈴木康久;田中秀治;畠山庸平;江刺正喜
