サイドウォールドーピングを用いたピエゾ抵抗型三軸カセンサ
サイドウォールドーピングを用いたピエゾ抵抗型三軸カセンサ
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使用侧壁掺杂的压阻三轴传感器
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
下山勲
中科院分区：
文献类型：
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作者：
菅哲朗;高橋英俊;青山雄一郎;竹井裕介;野田堅太郎;松本潔;下山勲
