Cu(Ti)合金薄膜における自己組織化バリア層の形成に及ぼす基板絶縁膜の影響
Cu(Ti)合金薄膜における自己組織化バリア層の形成に及ぼす基板絶縁膜の影響
复制标题
衬底绝缘膜对Cu(Ti)合金薄膜自组装势垒层形成的影响
DOI：
--
复制
发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
他
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
小濱和之;伊藤和博;着本享;他
